氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝(阴级)、离化室及离子加速极组成。

灯丝在真空中通电加热后发射电子，在离化室与灯丝之间的电场作用下，电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室，在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量，Z后打到离化室上形成电子流，成为发射电流的一部分。电子在运动的过程中碰撞气体分子而使气体分子电离形成正离子，正离子在离化室与加速极之间的电压U(即离子加速电原)作用下，相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝，由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能，正压氦质谱检漏仪品牌，便形成具有一定能量的离子束。

氦质谱检漏仪示踪气体选择

对示踪气体的要求：氦质谱检漏仪都用氦气(He)作为示踪气体，也有用氢气(H2)作为示踪气体的质谱检漏仪器。

氢和氦都是比较理想的示踪气体：空气中的含量少，氦质谱检漏仪品牌，质量轻，正压氦质谱检漏仪品牌，运动速度快，同等条件下，直线运动距离长。实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。但氢气在使用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气。质谱检漏仪器示踪气体一般具有以下特点：

1、无害，不能对人体或环境造成伤害。

2、质量轻，惰性气体，能穿透微小细缝。

3、化学性质稳定，不会起化学反应。

4、Z好是只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。

氦质谱检漏仪的真空系统

氦质谱检漏仪真空系统一般包括：

1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa，其抽速应导气载匹配。

2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速导主泵匹配。

3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，也有预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。

4、冷阱：分子泵型真空系统一般不加冷阱。护散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。

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