氦质谱检漏仪——背压法检漏的注意事项检漏过程会有以下现象：

1.氦质谱检漏仪只能检测微漏的工件；大漏的工件，在清氦过程，压入内部的氦气就可能泄露出来，正压氦气质谱检漏仪报价，在氦检时就检测不到氦气漏出。

2.工件清氦后，放置待检时间不要超过1小时，防止压入的氦气漏出。

3.实验测试时是单独检测工件；批量检测时检漏仪的本底值会成倍的大于单独检测的本底值。

4.批量检测时，正压氦气质谱检漏仪报价，发现有漏件，可以逐渐减半的方式，氦气质谱检漏仪报价，找到具体的漏件。

5.每次检测时，可以空检检漏罐并记录相应的漏率值，做为检测的对比参数。

氦质谱检漏仪的真空系统

氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。

1、检漏阀：接在质谱室和被检件之间的管道上。有些氦质谱检漏仪采用节流阀，正压氦气质谱检漏仪报价，控制流入质谱室的气体流量。

2、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。

3、标准漏孔：一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型)，用它来校准氦质谱检漏仪的Z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。

氦质谱检漏仪是如何工作的？

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1，M3）则以不同的偏转半径而被分开。

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