真空机组操作规程

真空机组安装前检查设备的完整性，真空机组价格，并熟悉所配各泵的使用说明书。
将机组就位固定好底角，按要求连接管路。
罗茨真空机组启动前，要检查系统各管道是否有泄漏；液环泵启动前要点车启动，真空机组，检查是否被卡住；启动前还要按《好凯德罗茨真空泵使用说明书》将罗茨泵油箱及油杯内油位注至要求；并且连接好罗茨泵的冷却管路，保证罗茨泵轴封端的冷却效果。
真空机组装配好控制柜，按电气原理图联接电动机和电接点真空表。
给电控柜送电前，还应遥测其绝缘电阻10MΩ，且机架与各电机有良好的接地。

扩散泵超高真空机组

以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。

为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，真空机组代理商，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。
如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的超高真空。

真空机组简介

真空机组是将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合起来构成的抽气装置。
其特点是结构紧凑，真空机组报价，安装使用方便。
真空抽气机组可分为低真空抽气机组、中真空抽气机组、高真空抽气机组、超高真空抽气机组、无油真空抽气机组等。
真空机组的名称以主泵命名。
真空系统按其工作压力分类，可分为:(1)粗真空系统(工作压力大于1330Pa);(2)低真空系统(工作压力在1330~0.13Pa);(3)高真空系统(工作压力在0.13~1.3×10-5Pa);(4)超高真空系统(工作压力在1.3×10-5~1.3×10-10Pa);（5）极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）按真空系统所要求的清洁程度分，有:(1)有油真空系统(真空室有油蒸气污染);(2)无油真空系统(真空室无油蒸气污染)。

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